纳米压痕仪是精确、灵活、易于使用的纳米力学测试仪器。电磁驱动器具有很好的力和位移动态范围，可以测量纳米到毫米级的变形。应用范围包括：半导体、薄膜及MEM（晶圆应用）、硬膜及DLC薄膜；复合材料，纤维，聚合物，金属，陶瓷；生物材料与生物学。
①纳米压痕设定，几种模式有何不同？
纳米压痕可分为静态位移控制、静载荷控制和连续刚度控制。
连续刚度只能设定位移，而不能设定载荷，可得到弹性模量、硬度随位移变化值。系统设定的时间是固定的，一般只有几秒钟。
静态位移控制模式，静态负载控制模式，可设定至最大位移或最大载荷时，可设定较长时间，一般系统默认每点为15秒，也可设定较长，如30、40秒，但时间越长，收费越高；负载模式可控制保载时间，一般默认为10秒，如有特殊要求可适当增加时间或适当增加；位移模式不可；静态模式不能得到弹性模量、硬度随位移变化的变化，只能得到该点在该深度或载荷作用下的弹性模量及硬度值；
②为什么纳米压痕没有100%卸载？
纳米压痕卸载一般在90%以上，如果用负载控制的测试方法，将卸载率设定为100%，那么就有可能出现热漂移（卸载后的位移会出现负值）；
③压痕直径与深度之间的关系？
纳米压痕测试压痕直径与压痕深度之间存在一定的转换关系：一般用概值估算压痕直径=7.5×压痕深度；
④纳米压痕的压痕位置无法从图片中看出？
因为1）由于压痕位置上的压痕位置上的材料本身回弹，2）样品表面颜色较深，不太干净也会造成压痕位置不清楚；
⑤压头材料？压头前端曲率？
金刚石材料，玻纤压头；新压头一般小于20纳米但时间长了肯定会很大，可能是100纳米；
