SEM纳米压痕仪采用真实力传感器和位移传感器，可用于测量材料在纳米尺度下的机械性能，采用的主动表面参比技术，消除了热漂移和框架刚度的影响。
因此，非常适用于对所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）进行原子到纳米尺度的长时间测量。对于极低或极温度下的测量，真空室版本 (UNHT? HTV) 适用于 -150℃ 至 800℃ 的温度以及低至 10-7 mbar 的真空度。
SEM纳米压痕仪特性：
众多塑性与弹性特性的测定，例如压痕硬度（可转换为维氏硬度）、压痕模量以及蠕变。
符合 DIN EN ISO 14577-1 与 ASTM E 2546 标准的材料参数测量与计算。
模块化构造使其能够灵活适应客户特定要求，可追溯性更强。
压头：维氏、柏氏或硬质合金球。
测量头，适用于在恒定温度下进行的长达数小时的蠕变测量。
具有三种倍率的显微镜，适用于测量点的准确定位。
通过快速行进实现自主、高度准确的零位测定。
适用于多测量点自动化测试的可编程 XY 工作台。
通过高性能 WIN-HCU软件快速评估并清晰地呈现测量结果。
