纳米位移台压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
微位移导向机构用来传递驱动器的运动和力，保证运动平台能按照一定的自由度产生所需的位移，包括支撑结构与放大机构。常用的微位移导向机构有以下几种：
滚动导轨是在两导轨面间放入滚针、滚珠和滚柱等滚动体，靠滚动摩擦进行运动。滚动导轨的优点是摩擦阻力较小，导轨运动灵敏，行程大、工艺学好，定位精度较高，可达微米量级；缺点是点线接触，接触应力大，对污物比较敏感，需要很好的防护，其结构比滑动导轨复杂，制造成本高。纳米位移台采用闭循环系统实际操作，电动位移台，大行程安排是20cm，紧凑型的设计方案能够出示毫米的产生，本身负荷力大，能够负荷300g。采用单一精准定位设备能够完成粗靠近和细致扫描仪二种实际操作，电动位移台安裝，再加其有非常高的可靠性，因此不容易存有机械设备洒脱的状况。
滑动导轨是一种支撑件和运动间直接接触、作滑动摩擦运动的普通导轨。滑动导轨的优点是结构简单、使用维护方便；缺点是未形成液体摩擦时低速易爬行、磨损大、寿命短、运动精度不稳定。一般较少在微纳定位系统中使用。
纳米位移台是现阶段精密度较高的检测仪器，普遍用以各种各样规定较为高的场地，非常是真空泵和超低温场地，应用它能够开展精确的精确测量。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
纳米位移台自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
