纳米压痕仪又称纳米压入仪，主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。
新兴纳米压痕方法是通过计算机控制载荷连续变化，在线监测压深量，由于施加的是超低载荷，加上监测传感器具有优于1nm 的位移分辨率，所以，可以获得小到纳米级的压深，特别适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。
选型指南
1、根据样品特点、实验目的等选择适合的产品。可以在购买前拿些样品测试一下，实际比较各仪器的性能。
2、要看市场上该型号的使用用户是否多，和生产厂家多要几家客户，特别是中国科学院、中国农科院、中国农业大学等高研究水平单位，联系一下该仪器的使用情况
3、在网上查一下，用该型号仪器是否有技术文章发表，特别是在国外有文章发表代表一个仪器的技术含量
4、可以和厂商的技术人员进行详细的沟通，看看技术人员有没有相关方面的专业知识，你很难相信一个没有专业知识的人能生产出好的产品和提供优质的服。
注意事项
1、样品表面粗糙度要控制在允许范围之内，一般要求控制在测试深度的1/20以内；
2、厚度极小的样品应固定在样品台上，以排除测试过程中样品的移动。
