纳米压痕仪是一款多功能微米、纳米机械性能测试平台。
性能，操作简易。CETR-APEX压痕和划痕测试仪，配备6种容易互换的机械头，高倍率显微镜和成像模块(AFM和三维光学轮廓仪)。纳米压头用来测量超薄涂层尤其是纳米级涂层以及块体材料的厚度、硬度、杨氏模量等。微米压头用于较厚涂层和块体材料的硬度、杨氏模量等机械性能测量。纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的摩擦磨损测量、静态/动态摩擦学测量、度、附着力，粘滑性等机械性能测量。
1.三个测量探头
左侧：机械性能测试，可以简便更换纳米、微米压头；
中部：显微镜，多达4个不同放大倍数的物镜，随意切换；
右侧：扫描成像，AFM和三维光学轮廓仪随意切换。
2.六种机械压头
奈米压痕压头
用来测量超薄涂层尤其是奈米级涂层以及块体材料的硬度,杨氏模量等（样品表面需较为光滑，以确保数据可靠性) 。
奈米划痕压头
主要用于奈米级超薄涂层的厚度测量、太阳能薄膜、ITO薄膜和光学涂层等)。
微米压痕压头
仪器的微米压痕压头用于较厚涂层和块体材料的硬度和杨氏模数等机械性能测量。
微米划痕压头
主要用于较厚涂层的微米级划痕测量油漆、装饰涂料等)。
毫米划痕压头
用于宏观尺度的划痕测量。
纳米、微米级摩擦学压头
纳米压痕仪用于薄膜、涂层以及块体材料的磨润测量、静态/动态摩擦学测量、度、附着力、粘滑性等机械性能测量。
纳米压痕仪对测试的要求
1. 样品要求：上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固；如果是镶的样品，加工成直径31.5mm，要不然容易打偏；
2. 特别注意：试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；压入深度小于100nm数据可靠度不高；压入深度一般2-3微米，深度再大没有太大意义；对于表面比较粗糙的样品，测试结果比较离散，建议测试点数不低于10个；样品表面平整，不得有油污、颗粒物等污染物；提供样品的泊松比；
纳米压痕仪的基本组成可以分为控制系统、 移动线圈系统、加载系统及压头等几个部分。压头一般使用金刚石压头，分为三角锥或四棱锥等类型。试验时，首先输入初始参数，之后的检测过程则由微机自动控制，通过改变移动线圈系统中的电流，可以操纵加载系统和压头的动作，压头压入载荷的测量和控制通过应变仪来完成，同时应变仪还将信号反馈到移动线圈系统以实现闭环控制，从而按照输入参数的设置完成试验。
