纳米压痕仪是一种用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试的仪器，其主要由控制系统、移动线圈系统、加载系统及压头等几个部分组成。在使用纳米压痕仪时，有一些重要的注意事项需要遵守：
首先，确保实验环境的稳定，避免外界干扰对实验结果的影响。若时间允许，提前将样品放置在载物台上，以保持样品与载物台上温度一致。其次，进行纳米压痕测试前，请确保待测试样品的表面干净、平整，以避免测试结果受到污染或不均匀表面的影响。
在测试过程中，应尽量避免外界震动或干扰，以确保测试结果的准确性。同时，在更换样品或针尖时，请确保仪器处于关闭状态，并按照相关操作规程进行更换，以免损坏仪器或造成意外伤害。此外，定期清洁和维护纳米压痕仪，以保持其正常工作状态和稳定性。
在实验参数(加载程序)的选择上，对于准静态实验而言，在峰值载荷Pmax不变的情况下，可变的实验参数包括加载时间、保载时间和卸载时间。根据ISO 14577-1-2015标准，加载时间、保载时间和卸载时间一般可分别选择30s、30s和10s。
