国产纳米压痕仪通过扫描材料表面实现对材料力学性能的纳米尺度的高精度测量，精确给出硬度，弹性模量，杨氏模量等材料力学性能，并实现静态压痕测量和动态压痕测量以及sclerometry测量，同时具备原子力显微镜和纳米硬度测量仪的功能。
纳米压痕仪的基本组成可以分为控制系统、移动线圈系统、加载系统及压头等几个部分。压头一般使用金刚石压头，分为三角锥或四棱锥等类型。试验时，首先输入初始参数，之后的检测过程则*由微机自动控制，通过改变移动线圈系统中的电流，可以操纵加载系统和压头的动作，压头压入载荷的测量和控制通过应变仪来完成，同时应变仪还将信号反馈到移动线圈系统以实现闭环控制，从而按照输入参数的设置完成试验。使用纳米压痕仪要满足哪些要求：
1.样品要求：上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固；如果是镶的样品，加工成直径31.5mm，要不然容易打偏；
2.特别注意：试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；压入深度小于100nm数据可靠度不高；压入深度一般2-3微米，深度再大没有太大意义；对于表面比较粗糙的样品，测试结果比较离散，建议测试点数不低于10个；样品表面平整，不得有油污、颗粒物等污染物；提供样品的泊松比。
