压电纳米定位
NANO MOTOR纳米级定位解决方案提供商
纳米定位精密测量纳米压痕微纳操纵产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm,行程范围为51mm。行程范围为31mm。行程范围为21mm。 LS-17系列直线定位平台具有很高的刚度,因此非常适合要求定位稳定性和高精度优先满足的微纳米定位系统。可提供不同的行程范围,从12毫米到51毫米不等。标准、高真空、超高真空、无磁版本适用于所有型号。
MLS-1720系列多轴定位平台产品由预堆叠的LS-1720系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。MLS-1720-4D所用定位台为LS-1720,运动为12x12x12x12mm。
LS-24系列直线定位平台相比LS-17系列的产品刚度更大,可在长行程范围内提供更高的运动精度。LS-2430的尺寸为30 x 24 x 12mm,行程范围为16mm。
MLS-1730系列多轴定位平台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730,运动为21x21x21mm。
MLS-1730系列三维纳米定位台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730,运动为21x21mm。
LS-24系列直线定位平台相比LS-17系列的产品刚度更大,可在长行程范围内提供更高的运动精度。LS-2445的尺寸为45 x 24 x 12mm,行程范围为29mm。
旋转定位平台均采用压电粘滑驱动技术原理,RS系列旋转台与LS系列直线定位台很容易进行组合成多功能系统,RS系列有多种型号可以选择,同时有开环、闭环不同选项以及超高真空等特殊环境版本。
LS-24系列直线定位平台相比LS-17系列的产品刚度更大,可在长行程范围内提供更高的运动精度。 LS-2460的尺寸为60 x 24 x 12mm,行程范围为35mm。