压电纳米定位
NANO MOTOR纳米级定位解决方案提供商
纳米定位精密测量纳米压痕微纳操纵RS2004旋转定位平台均采用压电粘滑驱动技术原理,RS系列旋转台与LS系列直线定位台很容易进行组合成多功能系统,RS系列有多种型号可以选择,同时有开环、闭环不同选项以及超高真空等特殊环境版本。
HF-5-10高负载平台内部采用楔形机械设计结构,外部配备额外的恒力弹簧,竖直方向利用闭环LS系列直线定位台,更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组合。
MLS-1730系列多轴定位平台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。MLS-1730-4D所用定位台为LS-1730,运动为21x21x21x21mm。
LS-24系列直线定位平台相比LS-17系列的产品刚度更大,可在长行程范围内提供更高的运动精度。LS-2475的尺寸为75 x 24 x 12mm,行程范围为49mm。
RS4010旋转定位平台均采用压电粘滑驱动技术原理,RS系列旋转台与LS系列直线定位台很容易进行组合成多功能系统,RS系列有多种型号可以选择,同时有开环、闭环不同选项以及超高真空等特殊环境版本。
高负载平台内部采用楔形机械设计结构,外部配备额外的恒力弹簧,竖直方向利用闭环LS系列直线定位台,更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组合。
MLS-1740系列多轴定位平台产品由预堆叠的LS-1740系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。MLS-1740-2D所用定位台为LS-1740,运动为26x26mm。
LS-24系列直线定位平台相比LS-17系列的产品刚度更大,可在长行程范围内提供更高的运动精度。LS-2490的尺寸为90 x 24 x 12mm,行程范围为63mm。