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压电纳米定位
NANO MOTOR纳米级定位解决方案提供商
纳米定位精密测量纳米压痕微纳操纵相关文章
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| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,生物产业,电子,航天,电气 |
MLS-1730系列三维纳米定位台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。
平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现0.05%F.S.重复定位精度。P12B.XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm/轴，闭环扫描精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域，同时适用于真空应用，满足客户真空应用需求。
特点
· 三维XYZ向运动
· 行程100μm/轴
· 中心通孔?10mm
· 适用于真空应用
应用领域
· 扫描显微/表面测量
· 共焦显微/半导体测试
· 晶圆定位/图像处理与稳定
· 光纤定位/光学扫描
产品描述：MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。
三维纳米定位台参数：
| 概观 | |
|---|---|
| 轴数 | 2 |
| 所用的定位台 | LS-1730 |
| 运动行程[mm] | 21x21 |
| XY 最大负载[N] | 10 |
| 靠板安装尺寸[mm] | 60x60x25 (L x W x H) |
| 直接安装尺寸[mm] | 30x30x20 (L x W x H) |
| 选配 | |
| 材质 | 标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK） |
| 真空兼容 (1E-6 mbar) | -HV |
| 高真空兼容 (1E-11 mbar) | 可根据要求定制 |
| 无磁 | 可根据要求定制 |
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