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压电纳米定位
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纳米定位精密测量纳米压痕微纳操纵
HF-5-10高负载平台内部采用楔形机械设计结构，外部配备额外的恒力弹簧，竖直方向利用闭环LS系列直线定位台，更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组合。
高负载平台内部采用楔形机械设计结构，外部配备额外的恒力弹簧，竖直方向利用闭环LS系列直线定位台，更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组合。
HF-5-20高负载平台内部采用楔形机械设计结构，外部配备额外的恒力弹簧，竖直方向利用闭环LS系列直线定位台，更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组合。
